[发明专利]冷却装置及直拉晶体的生长设备在审
| 申请号： | 202110469915.7 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN115247279A | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 张敏 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种冷却装置及直拉晶体生长设备，所述冷却装置包括水冷套及隔热屏，所述水冷套环绕晶体布置，所述隔热屏间隔设置于所述晶体与所述水冷套之间且相对靠近所述水冷套的下端，所述隔热屏远离所述水冷套一侧为倾斜面，所述倾斜面距所述晶体的距离由下往上逐渐增大。利用间隔设置于水冷套和晶体之间且与晶体距离由下往上逐渐增大的结构的隔热屏，可降低晶体表面的轴向温度梯度，进而降低晶体中心与晶体表面的径向温度梯度，与此同时还可降低过大的内外温差对水冷套的影响，保护水冷套，延长其使用寿命，以提高直拉生长晶体的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 装置 晶体 生长 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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