[发明专利]一种Mn掺杂ZnO稀磁半导体薄膜的制备方法有效
申请号: | 202110453139.1 | 申请日: | 2021-04-26 |
公开(公告)号: | CN113308669B | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 刘风光;吴鹏;洪宾;赵巍胜 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学合肥创新研究院(北京航空航天大学合肥研究生院) |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35;H01F41/18;H10N52/85 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 奚华保 |
地址: | 230013 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明涉及一种稀磁半导体制备技术领域,具体涉及一种Mn掺杂ZnO稀磁半导体薄膜的制备方法,包括以下步骤:1)称取适量的锌源和锰源粉末,球磨混合均匀;2)将混合粉末掺入有机粘合剂并调和均匀,压制成圆饼状复合物;3)将圆饼状复合物在400‑1100℃的条件下进行煅烧6‑8小时,冷却至室温得到Zn |
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搜索关键词: | 一种 mn 掺杂 zno 半导体 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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