[发明专利]微纳结构图形试样的高速跟踪方法有效
| 申请号： | 202110390170.5 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113206950B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 刘星;魏劲松;陈国东;郑金轮;赵培均 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H04N5/232 | 分类号： | H04N5/232;H04N5/225;H04N5/235;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 微纳结构图形试样的高速跟踪方法,包括计算机、照明成像模块、二向色棱镜、调焦机构、压电陶瓷、物镜、待跟踪的微纳结构图形试样、工件台、探测器、象散模块、分光模块、扩束镜、激光器和控制器。将待跟踪的微纳结构图形试样放置于工件台上，通过调焦机构的上下移动，使得待跟踪的微纳结构图形试样的表面在照明成像模块清晰成像。调节扩束镜，使得激光器发出的激光聚焦在待跟踪的微纳结构图形试样的表面，同步控制工件台与控制器，完成待跟踪的微纳结构图形试样的运动与跟踪。本发明微纳结构图形试样的高速跟踪方法可以高速、高精度、高灵敏度的对微纳结构图形试样进行自动跟踪，保证微纳结构图形清晰成像，为后续的读取与检测提供保证。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 图形 试样 高速 跟踪 方法 | ||
【主权项】：
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