[发明专利]一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统有效
| 申请号： | 202110386548.4 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN113155286B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 易飞;万浩威;谈小超;陈岩 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45;G01J3/02;G02B26/08 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 王颖翀 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统，适用于紧凑型FTIR光谱测量系统。基于迈克尔逊干涉原理，将MEMS微镜与传统干涉系统进行集成，缩小系统体积、简化装调误差和提高稳定性。将干涉一体镜设计成对称结构，减少温度变化导致的热变形对干涉的影响，并且所述干涉仪一体镜对系统的其它光学元件的装配误差不敏感。所述干涉一体镜不同于传统迈克尔逊干涉仪，取消了定镜的使用，对MEMS微镜前表面和后表面反射回来的光进行干涉，放大光束之间的光程差，从而提高光谱分辨率，降低了对MEMS微镜的最大振幅要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 干涉仪 一体 系统 | ||
【主权项】：
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