[发明专利]一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜及系统

权利要求书

1.一种基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，所述一体镜包括：分光三棱镜(1)、增透三棱镜(2)、第一导光三棱镜(3)、第二导光三棱镜(4)和MEMS微镜(5)；

分光三棱镜(1)的垂直面与增透三棱镜(2)的垂直面接触，入射光垂直于分光三棱镜(1)的斜面入射至接触面，其与接触面的接触点即为分光点，入射光在分光点分成两光束，其中，第一光束被反射至第一导光三棱镜(3)，第一导光三棱镜(3)引导第一光束垂直入射至MEMS微镜(5)的第一镜面；第二光束透射至第二导光三棱镜(4)，第二导光三棱镜(4)引导第二光束垂直入射至MEMS微镜(5)的第二镜面；MEMS微镜(5)为双面反射镜，用于调整两光束的光程差，调整光程差后的两光束原路返回至分光点，在分光点发生干涉后从增透三棱镜(2)的斜面垂直射出；

分光三棱镜(1)的另一垂直面与第一导光三棱镜(3)的垂直面接触，增透三棱镜(2)的另一垂直面与第二导光三棱镜(4)的垂直面接触；

第一光束从分光三棱镜(1)的另一垂直面出射后，从接触面入射至第一导光三棱镜(3)的斜面并经斜面反射垂直入射至MEMS微镜(5)的第一镜面；第二光束从增透三棱镜(2)的另一垂直面出射后，从接触面入射至第二导光三棱镜(4)的斜面并经斜面反射垂直入射至MEMS微镜(5)的第二镜面。

2.如权利要求1所述的基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，第一导光三棱镜(3)的垂直面和第二导光三棱镜(4)的垂直面平行相对设置，MEMS微镜(5)在两垂直面之间平行往复移动，调整两光束的光程差。

3.如权利要求1所述的基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，分光三棱镜(1)与增透三棱镜(2)对称，第一导光三棱镜(3)与第二导光三棱镜(4)对称。

4.如权利要求1所述的基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，分光三棱镜(1)的垂直面镀半透半反膜，另一垂直面和斜面镀增透膜；增透三棱镜(2)的三个面均镀增透膜；第一导光三棱镜、第二导光三棱镜的斜面镀高反膜，两垂直面镀增透膜；MEMS微镜(5)的两镜面镀高反膜。

5.如权利要求1所述的基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，入射光为准直光，包括物体漫反射光和参考激光；出射光包括出射参考激光和出射物体漫反射光；所述出射参考激光用于所述MEMS微镜(5)的运动位置反馈，所述出射物体漫反射光用于计算物体吸收谱。

6.如权利要求5所述的基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，所述一体镜还包括第一二向色分束镜(6)，用于将入射物体漫反射光和入射参考激光合束，形成共轴参考激光与物体漫反射光。

7.如权利要求5所述的基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，所述一体镜还包括第二二向色分束镜(7)，用于将所述一体镜的出射光分为出射参考激光和出射物体漫反射光。

8.一种基于MEMS微镜的干涉仪系统，包括权利要求1-7任一项所述的基于MEMS微镜的干涉仪一体镜，其特征在于，还包括第一光探测器和第二光探测器，分别用于接收出射物体漫反射光和出射参考激光。