[发明专利]一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置有效
| 申请号： | 202110378977.7 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113203233B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李双玉 | 申请（专利权）人： | 涌明科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F25D3/11 | 分类号： | F25D3/11;F25D17/02;F25D25/04;F25D17/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人： | 陈映辉 |
| 地址： | 201599 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片制造技术领域，尤其是一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带，第一传送带的顶侧设有硅片，第一传送带的顶侧设有冷却盒，冷却盒的两侧分别设有进油管、出油管，进油管、出油管的一侧分别设有第一转换管、第二转换管，第一转换管、第二转换管的底侧分别设有第一真空泵、第二真空泵，第一真空泵的输出端设有连通管，连通管的一侧设有换热器，第一传送带的底侧设有冷却油箱，换热器的一侧设有导油管，第二真空泵的输入端设有吸油管，该节能高效的硅片烘烤用冷却装置，一分二运输物料，冷却循环利用，节能高效，操作方便，冷却效果优异。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 节能 高效 硅片 烘烤 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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