[发明专利]一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置

说明书

本发明涉及硅片制造技术领域，尤其是一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带，第一传送带的顶侧设有硅片，第一传送带的顶侧设有冷却盒，冷却盒的两侧分别设有进油管、出油管，进油管、出油管的一侧分别设有第一转换管、第二转换管，第一转换管、第二转换管的底侧分别设有第一真空泵、第二真空泵，第一真空泵的输出端设有连通管，连通管的一侧设有换热器，第一传送带的底侧设有冷却油箱，换热器的一侧设有导油管，第二真空泵的输入端设有吸油管，该节能高效的硅片烘烤用冷却装置，一分二运输物料，冷却循环利用，节能高效，操作方便，冷却效果优异。

技术领域

本发明涉及硅片制造技术领域，尤其涉及一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置。

背景技术

地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片制造的过程中需要进行烘烤，对其表面的包浆进行烘干，烘烤之后需要用冷却装置，进行冷却，然后在进行下一步操作。

现有的冷却装置，大多数采用为液氮充斥冷却，但是这种冷却方法消耗能源过大，效果很好但是消耗过大，普通的冷却不能使其冷却均匀，也就是散热不均，运输的过程中，硅片也会因为自身两个硅片同时运输所产生热能相对，运输的过程中也会受到热量相并，冷却效果不佳，因此，我们设计了一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在现有的冷却装置，大多数采用为液氮充斥冷却，但是这种冷却方法消耗能源过大，效果很好但是消耗过大，普通的冷却不能使其冷却均匀，也就是散热不均，运输的过程中，硅片也会因为自身两个硅片同时运输所产生热能相对，运输的过程中也会受到热量相并，冷却效果不佳的缺点，而提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

设计一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带，所述第一传送带的顶侧活动连接设有若干硅片，所述第一传送带的顶侧一端通过卡扣可拆卸式连接设有冷却盒，所述冷却盒底侧固定设有散热导向结构，所述冷却盒的两侧分别固定连接设有进油管、出油管，所述进油管、出油管的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有第一转换管、第二转换管，所述第一转换管、第二转换管的底侧分别固定设有第一真空泵、第二真空泵，所述第一真空泵的输出端通过螺纹转动连接设有连通管，所述连通管的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有换热器，所述第一传送带的底侧且与冷却盒相对的位置固定连接设有冷却油箱，所述换热器的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有导油管，所述导油管的一侧转动连接在冷却油箱的一侧，所述第二真空泵的输入端通过卡扣可拆卸式连接设有吸油管，所述吸油管的一侧转动连接在冷却油箱的一侧，所述第一传送带的一侧且位于冷却油箱的顶侧固定连接设有第二传送带，所述第一传送带的一侧固定设有第三传送带，所述第三传送带远离第一传送带的一侧固定设有第四传送带，所述第二传送带远离第一传送带的一侧固定连接设有风冷箱，所述风冷箱为空腔结构，所述风冷箱的内侧从上至下依次固定连接设有第五传送带、第六传送带，所述风冷箱的底侧固定连接设有支撑腿，所述风冷箱的一侧固定设有若干安装孔，所述安装孔的内侧通过卡扣可拆卸式连接设有风扇。

优选的，所述第一传送带、第二传送带、第三传送带、第四传送带、第五传送带、第六传送带及风扇均通过导线电性连接外接电源。

优选的，所述散热导向结构包括：滚珠槽、滚珠，所述冷却盒的底侧固定设有若干滚珠槽，所述滚珠槽的内侧转动连接设有滚珠。

优选的，所述冷却盒远离第二传送带的一侧固定连接设有导向分隔柱，所述导向分隔柱的两侧呈弧形结构设置，所述导向分隔柱远离冷却盒的一侧固定设有凸块。

优选的，所述风冷箱的内侧且与风扇相对的位置固定连接设有弧形板。