[发明专利]一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置

权利要求书

1.一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带(1)，其特征在于，所述第一传送带(1)的顶侧活动连接设有若干硅片(2)，所述第一传送带(1)的顶侧一端通过卡扣可拆卸式连接设有冷却盒(3)，所述冷却盒(3)底侧固定设有散热导向结构，所述冷却盒(3)的两侧分别固定连接设有进油管(4)、出油管(5)，所述进油管(4)、出油管(5)的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有第一转换管(6)、第二转换管(7)，所述第一转换管(6)、第二转换管(7)的底侧分别固定设有第一真空泵(8)、第二真空泵(9)，所述第一真空泵(8)的输出端通过螺纹转动连接设有连通管(10)，所述连通管(10)的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有换热器(11)，所述第一传送带(1)的底侧且与冷却盒(3)相对的位置固定连接设有冷却油箱(13)，所述换热器(11)的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有导油管(12)，所述导油管(12)的一侧转动连接在冷却油箱(13)的一侧，所述第二真空泵(9)的输入端通过卡扣可拆卸式连接设有吸油管(14)，所述吸油管(14)的一侧转动连接在冷却油箱(13)的一侧，所述第一传送带(1)的一侧且位于冷却油箱(13)的顶侧固定连接设有第二传送带(15)，所述第一传送带(1)的一侧固定设有第三传送带(16)，所述第三传送带(16)远离第一传送带(1)的一侧固定设有第四传送带(17)，所述第二传送带(15)远离第一传送带(1)的一侧固定连接设有风冷箱(18)，所述风冷箱(18)为空腔结构，所述风冷箱(18)的内侧从上至下依次固定连接设有第五传送带(19)、第六传送带(20)，所述风冷箱(18)的底侧固定连接设有支撑腿(21)，所述风冷箱(18)的一侧固定设有若干安装孔(22)，所述安装孔(22)的内侧通过卡扣可拆卸式连接设有风扇(23)，所述第二传送带(15)与第三传送带(16)呈相对并排设置，所述第二传送带(15)上的硅片(2)运送到第五传送带(19)上，所述第四传送带(17)上的硅片(2)运送到第 六传送带(20)上。

2.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述第一传送带(1)、第二传送带(15)、第三传送带(16)、第四传送带(17)、第五传送带(19)、第六传送带(20)及风扇(23)均通过导线电性连接外接电源。

3.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述散热导向结构包括：滚珠槽(25)、滚珠(26)，所述冷却盒(3)的底侧固定设有若干滚珠槽(25)，所述滚珠槽(25)的内侧转动连接设有滚珠(26)。

4.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述冷却盒(3)远离第二传送带(15)的一侧固定连接设有导向分隔柱(27)，所述导向分隔柱(27)的两侧呈弧形结构设置，所述导向分隔柱(27)远离冷却盒(3)的一侧固定设有凸块。

5.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述风冷箱(18)的内侧且与风扇(23)相对的位置固定连接设有弧形板(24)。

6.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述第二传送带(15)呈斜角六十度设置，所述第三传送带(16)的顶侧且靠近第二传送带(15)的位置固定连接设有挡料板(28)。

7.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述第五传送带(19)与第六传送带(20)均采用为滚轴传送带。

8.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述风冷箱(18)的底侧固定连接设有若干通风孔。