[发明专利]多微波源等离子体化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了多微波源等离子体化学气相沉积装置，属于微波应用技术领域，包括屏蔽外壳、石英围挡、基台和若干个微波源；屏蔽外壳内设有反应腔；反应腔内设有石英围挡；石英围挡的顶部和底部分别延伸至屏蔽外壳的顶板和底板；石英围挡包围有基体腔；屏蔽外壳的顶板和底板分别封闭基体腔的顶部和底部；基体腔内设有基台；基台用于放置基体；屏蔽外壳上设有和微波源一一对应的馈口；馈口用于对应的微波源向基体腔之外的反应腔内输入微波。本发明的多微波源等离子体化学气相沉积装置，制出的金刚石薄膜质量高，不含杂质，对微波源功率要求低，成本低，微波能量利用率高，电场强度高，场强分布集中，各微波输入端口之间隔离度大。