[发明专利]多微波源等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.多微波源等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：包括屏蔽外壳(1)、石英围挡(2)、基台(3)和若干个微波源；所述屏蔽外壳(1)内设有反应腔；所述反应腔内设有石英围挡(2)；所述石英围挡(2)的顶部和底部分别延伸至屏蔽外壳(1)的顶板和底板；所述石英围挡(2)包围有基体腔(4)；所述屏蔽外壳(1)的顶板和底板分别封闭基体腔(4)的顶部和底部；所述基体腔(4)内设有基台(3)；所述基台(3)用于放置基体(14)；所述屏蔽外壳(1)上设有和微波源一一对应的馈口(5)；所述馈口(5)用于对应的微波源向基体腔(4)之外的反应腔内输入微波；所述屏蔽外壳(1)的顶板上设有向上凸起的罩体(6)；所述罩体(6)内设有调整腔(7)；所述调整腔(7)位于基台(3)的正上方；所述调整腔(7)底部和基体腔(4)连通；若干个微波源及对应的馈口(5)位于屏蔽外壳(1)的顶板上，并均匀环绕石英围挡(2)；所述反应腔内设有若干个模片；若干个模片均匀环绕石英围挡(2)；若干个模片将基体腔(4)之外的反应腔均匀分割为若干个微波输入腔(8)；所述微波输入腔(8)和微波源一一对应；所述微波源向对应的微波输入腔(8)输入微波；所述模片为椭圆曲面模片(12)；所述椭圆曲面模片(12)的顶部和底部分别延伸至屏蔽外壳(1)的顶板和底板；相邻的椭圆曲面模片(12)之间相交；所述馈口(5)位于对应的椭圆曲面模片(12)所在椭圆的第一焦点上；所述基台(3)位于所有的椭圆曲面模片(12)所在椭圆的第二焦点上。