[发明专利]一种带有沉积载具的化学气相沉积炉及进行沉积的方法

摘要

本发明涉及一种带有沉积载具的化学气相沉积炉及进行沉积的方法，沉积载具、刚玉管位于化学气相沉积炉炉体内；发热体沿周向环绕在刚玉管的外围；沉积时，首先将固态粉末前驱体置于送粉装置中，气态前驱体在相应的外置气瓶中，被沉积的试样通过圆孔悬挂于载具沉积腔的内套筒中。将沉积载具按照装配顺序依次组装，放入炉体刚玉管内。打开真空泵，将炉体内抽为负压状态，压力根据沉积需要而定。本发明中的带有沉积载具的送粉式化学气相沉积炉可提高固态粉末前驱体利用率，节约成本，同时获得均匀的高质量涂层。且固态粉末前驱体几乎完全挥发为气体，可减少尾气管中的固体成分，减小尾气管道的堵塞，节约沉积和维修的时间。