[发明专利]一种MEMS接触式开关及其制备方法有效
| 申请号： | 202110338529.4 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN112723302B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康;李军伟;董旭光;侯鸿道 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种MEMS接触式开关及其制备方法，包括：帕尔贴制冷器；设置在所述帕尔贴制冷器的上表面的开关材料层；覆盖所述帕尔贴制冷器及所述开关材料层的上表面的传输电极层；形成在所述开关材料层的上表面并分隔所述传输电极层的毛细沟道；覆盖所述传输电极层，形成封有定量水气的密闭腔的封装管帽。本发明将MEMS开关与帕尔贴制冷器集成。开关中没有可动机械部件，没有材料磨损和机械粘连问题。开关的接触可靠性高，易于使用，且不易损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 接触 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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