[发明专利]一种微动台、交接方法及运动设备有效
| 申请号： | 202110309661.2 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN112701075B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 江旭初;袁嘉欣;陈啸虎;李仲禹;陈旻峰;章富平 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司;上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及集成电路装备制造技术领域，公开一种微动台、交接方法及运动设备。其中微动台包括垂向升降装置、吸盘组件和基底交接装置，垂向升降装置包括由下至上依次连接的基台、垂向驱动组件和固定台，垂向驱动组件安装于基台上，固定台安装于垂向驱动组件上；吸盘组件包括吸盘，吸盘转动设置于固定台上，吸盘用于承载基底；基底交接装置包括交接轴和顶杆，交接轴与固定台滑动连接，顶杆设置于基台上，且基底交接装置被配置为在垂向驱动组件带动固定台向下运动时，顶杆能够顶动交接轴，以使交接轴相对固定台向上滑动并伸出吸盘上表面以托起并吸附基底。本发明解决了基底交接装置线缆或管路的缠绕问题，简化了吸盘结构，减少了吸盘变形风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微动 交接 方法 运动 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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