[发明专利]一种微动台、交接方法及运动设备

权利要求书

1.一种微动台，其特征在于，包括：

垂向升降装置（1），其包括由下至上依次连接的基台（11）、垂向驱动组件（12）和固定台（13），所述垂向驱动组件（12）安装于所述基台（11）上，所述固定台（13）安装于所述垂向驱动组件（12）上；

吸盘组件（2），其包括吸盘（21），所述吸盘（21）转动设置于所述固定台（13）上，所述吸盘（21）用于承载基底（300）；

基底交接装置（3），所述基底交接装置（3）包括交接轴（32）和顶杆（35），所述交接轴（32）与所述固定台（13）滑动连接，所述顶杆（35）设置于所述基台（11）上，且所述基底交接装置（3）被配置为在所述垂向驱动组件（12）带动所述固定台（13）向下运动时，所述顶杆（35）能够顶动所述交接轴（32），以使所述交接轴（32）相对所述固定台（13）向上滑动并伸出所述吸盘（21）上表面以托起并吸附所述基底（300）。

2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述基底交接装置（3）还包括交接底座（31），所述交接底座（31）连接于所述固定台（13）的底部，所述交接底座（31）设置有两端开口的型腔，所述交接轴（32）的下端滑动安装于所述型腔内，所述顶杆（35）的顶端能穿过所述型腔的下端开口以顶动所述交接轴（32），以使所述交接轴（32）的上端穿过所述固定台（13）并伸出所述固定台（13）的上方。

3.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述基底交接装置（3）还包括弹性复位件（33），所述弹性复位件（33）用于在所述顶杆（35）与所述交接轴（32）脱离接触后，向所述交接轴（32）施加向下的回复力。

4.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述固定台（13）上贯通开设有第一通孔，所述交接轴（32）与所述第一通孔的侧壁之间设置有导套（34），所述交接轴（32）滑动穿设于所述导套（34）中。

5.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述交接轴（32）设置有通气孔道（321），所述交接轴（32）的顶端设置有吸嘴（322），所述交接轴（32）的侧壁安装有连接管路（323），所述通气孔道（321）一端连接所述吸嘴（322），另一端连通所述连接管路（323）。

6.根据权利要求1-5任一项所述的微动台，其特征在于，所述固定台（13）上环设有多组所述基底交接装置（3）。

7.根据权利要求1-5任一项所述的微动台，其特征在于，所述基底交接装置（3）还包括驱动件（36），所述顶杆（35）设置于所述驱动件（36）的驱动部上，所述驱动件（36）的固定部固定于所述基台（11）上，所述驱动件（36）能够驱动所述顶杆（35）在第一位置和第二位置间切换，所述第一位置为所述顶杆（35）能够顶动所述交接轴（32）的位置，所述第二位置为所述顶杆（35）避让所述交接轴（32）的位置。

8.根据权利要求7所述的微动台，其特征在于，所述驱动件（36）为伸缩气缸，所述顶杆（35）固定于所述伸缩气缸的气缸杆上，所述伸缩气缸驱动所述顶杆（35）在所述第一位置和所述第二位置间直线运动；或

所述驱动件（36）为旋转电机，所述顶杆（35）固定于所述旋转电机的驱动轴上，所述旋转电机驱动所述顶杆（35）在所述第一位置和所述第二位置间旋转切换。

9.根据权利要求1-5任一项所述的微动台，其特征在于，所述固定台（13）和所述基台（11）二者中的一个设置有导轨（131），另一个设置有导杆（111），所述导杆（111）滑动设置于所述导轨（131）内，所述导轨（131）和所述导杆（111）至少为三组。

10.根据权利要求1-5任一项所述的微动台，其特征在于，所述吸盘组件（2）还包括旋转驱动部件（22），所述旋转驱动部件（22）设置于所述吸盘（21）与所述固定台（13）之间，所述旋转驱动部件（22）被配置为驱动所述吸盘（21）转动。