[发明专利]一种微动台、交接方法及运动设备

说明书

本发明涉及集成电路装备制造技术领域，公开一种微动台、交接方法及运动设备。其中微动台包括垂向升降装置、吸盘组件和基底交接装置，垂向升降装置包括由下至上依次连接的基台、垂向驱动组件和固定台，垂向驱动组件安装于基台上，固定台安装于垂向驱动组件上；吸盘组件包括吸盘，吸盘转动设置于固定台上，吸盘用于承载基底；基底交接装置包括交接轴和顶杆，交接轴与固定台滑动连接，顶杆设置于基台上，且基底交接装置被配置为在垂向驱动组件带动固定台向下运动时，顶杆能够顶动交接轴，以使交接轴相对固定台向上滑动并伸出吸盘上表面以托起并吸附基底。本发明解决了基底交接装置线缆或管路的缠绕问题，简化了吸盘结构，减少了吸盘变形风险。

技术领域

本发明涉及集成电路装备制造技术领域，尤其涉及一种微动台、交接方法及运动设备。

背景技术

在半导体光刻领域和硅片检测领域，微动台是光刻设备和检测设备的核心部件之一，其承载着硅片，完成硅片的高速高精度定位。微动台的硅片交接装置是微动台的组成部分，用于和硅片传输系统进行硅片交接。当硅片完成曝光或者检测时，需要交接装置将吸盘上的硅片迅速平稳的提升一定距离，以便传输机械手将硅片取回。同时，当传输机械手将硅片输送到指定工位时，需要交接装置将硅片迅速平稳的提升一定距离，以便传输机械手与硅片脱离并退回，要求该装置能够在有限的空间里进行稳定有效的运动。

现有技术中，交接装置上设置有电气线缆或气动管路，交接装置的所有部件全部固定在吸盘上，而硅片测量时，吸盘需要进行转动，从而需要解决交接装置引入的电气线缆或气动管路的旋转缠绕问题，导致整个工件台的结构较为复杂。而且交接装置固定在吸盘上，导致了吸盘的安装复杂度提高和变形量增大，且增加了吸盘的旋转电机的驱动负载。

基于此，亟需一种微动台、交接方法及运动设备，以解决上述存在的问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种微动台、交接方法及运动设备，本发明解决了吸盘旋转时，基底交接装置线缆或管路的缠绕问题，简化了吸盘结构，减少了吸盘变形风险。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，提供一种微动台，包括：

垂向升降装置，其包括由下至上依次连接的基台、垂向驱动组件和固定台，所述垂向驱动组件安装于所述基台上，所述固定台安装于所述垂向驱动组件上；

吸盘组件，其包括吸盘，所述吸盘转动设置于所述固定台上，所述吸盘用于承载基底；

基底交接装置，所述基底交接装置包括交接轴和顶杆，所述交接轴与所述固定台滑动连接，所述顶杆设置于所述基台上，且所述基底交接装置被配置为在所述垂向驱动组件带动所述固定台向下运动时，所述顶杆能够顶动所述交接轴，以使所述交接轴相对所述固定台向上滑动并伸出所述吸盘上表面以托起并吸附所述基底。

作为一种微动台的优选技术方案，所述基底交接装置还包括交接底座，所述交接底座连接于所述固定台的底部，所述交接底座设置有两端开口的型腔，所述交接轴的下端滑动安装于所述型腔内，所述顶杆的顶端能穿过所述型腔的下端开口以顶动所述交接轴，以使所述交接轴的上端穿过所述固定台并伸出所述固定台的上方。

作为一种微动台的优选技术方案，所述基底交接装置还包括弹性复位件，所述弹性复位件用于在所述顶杆与所述交接轴脱离接触后，向所述交接轴施加向下的回复力。

作为一种微动台的优选技术方案，所述固定台上贯通开设有第一通孔，所述交接轴与所述第一通孔的侧壁之间设置有导套，所述交接轴滑动穿设于所述导套中。

作为一种微动台的优选技术方案，所述交接轴的顶部设置有通气孔道，所述交接轴的顶端设置有吸嘴，所述交接轴的侧壁安装有连接管路，所述通气孔道一端连接所述吸嘴，另一端连通所述连接管路。

作为一种微动台的优选技术方案，所述固定台上环设有多组所述基底交接装置。