[发明专利]一种多层堆叠微系统结构在审
申请号: | 202110309148.3 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN113066771A | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 冯光建;黄雷;高群 | 申请(专利权)人: | 浙江集迈科微电子有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/373;H01L25/16;H01L21/50 |
代理公司: | 无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙) 32517 | 代理人: | 屠志力 |
地址: | 313100 浙江省湖州市长兴县经济技术开发*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种多层堆叠微系统结构;包括硅片,所述硅片的中间内部固定镶嵌焊接有功能芯片,所述硅片的上部焊接有上盖硅片,所述上盖硅片的上表面贴装功率数字芯片,所述上盖硅片的上部还焊接安装有第一散热金属壳体,所述硅片的下部焊接有转接板,所述转接板的下部贴装有功率射频芯片,所述转接板的下部贴装连接有PCB板,所述PCB板的下表面固定贴装有第二散热金属壳体;本发明利用转接板工艺在模组的中间布置功能芯片,然后在功能芯片的两面布置功率数字芯片和功率射频芯片,在功率数字芯片和功率射频芯片的上面和下面各设置散热装置,使功率芯片的热能够及时散到终端上,避免模组温度升高。 | ||
搜索关键词: | 一种 多层 堆叠 系统 结构 | ||
【主权项】:
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