[发明专利]提升装置及半导体工艺设备有效
| 申请号： | 202110300813.2 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113061865B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 赵康宁 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种提升装置及半导体工艺设备，涉及半导体制造领域。该提升装置为半导体工艺设备中基座的提升装置，用于驱动基座在工艺腔室内升降，包括提升机构和平移机构；平移机构包括层叠设置的支撑部、第一滑板、第二滑板和安装板，调节组件连接支撑板和安装板，安装板固定于工艺腔室，第一滑板沿第一方向滑动连接于支撑板，第二滑板沿第二方向滑动连接于第一滑板，第二滑板上设有沿第三方向延伸的滑套；提升机构包括升降轴，升降轴可滑动地设置于滑套中。上述半导体工艺设备，包括上述提升装置。本申请实施例至少能够缓解基片位置偏差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 提升 装置 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110300813.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
