[发明专利]检查装置和检查方法在审
申请号: | 202110279311.6 | 申请日: | 2021-03-16 |
公开(公告)号: | CN113494993A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 森数洋司 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01J1/42;B23K26/70;B23K26/38;B23K26/046 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供检查装置和检查方法,能够高精度地检测激光光线的高斯分布的等高线。激光振荡器的检查装置包含:减光板,其使刚刚从激光振荡器射出后的激光光线减光;拍摄单元,其利用多个像素对被减光板减光的激光光线进行拍摄;处理单元,其对拍摄单元所拍摄到的图像进行处理;以及显示单元,其显示由处理单元处理的图像。处理单元具有划分激光光线的强度的至少内圈和外圈这两个阈值。 | ||
搜索关键词: | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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