[发明专利]基板载体、成膜装置及成膜方法有效
| 申请号： | 202110269095.7 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113388819B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 铃木健太郎 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种不使基板载体整体的重量大幅增大而能够在保持基板的状态下稳定地翻转、传送的基板载体。基板载体具备：具有保持基板的第一面及作为第一面的相反侧的面的第二面的板状构件；配置在第一面侧，分别具有用于保持基板的粘着面的多个粘着构件；以及配置在第二面侧的第一肋，多个粘着构件包括沿着第一面排成列状的第一粘着构件组，将第一粘着构件组的各自的粘着面垂直投影到第一面而得到的区域与将第一肋垂直投影到第一面而得到的区域重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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