[发明专利]基板载体、成膜装置及成膜方法

权利要求书

1.一种基板载体，其特征在于，

所述基板载体具备：

板状构件，所述板状构件具有保持基板的第一面及作为所述第一面的相反侧的面的第二面；

多个粘着构件，所述多个粘着构件配置在所述第一面侧，分别具有用于保持所述基板的粘着面；及

第一肋，所述第一肋配置在所述第二面侧，

所述多个粘着构件包括沿着所述第一面排成列状的第一粘着构件组，

将所述第一粘着构件组的各自的所述粘着面垂直投影到所述第一面而得到的区域与将所述第一肋垂直投影到所述第一面而得到的区域重叠。

2.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

在所述第二面中还具有沿着所述板状构件的周缘部配置的第二肋。

3.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，

所述多个粘着构件包括沿着所述板状构件的周缘部排列的第二粘着构件组，

将所述第二粘着构件组的各自的所述粘着面垂直投影到所述第一面而得到的区域与将所述第二肋垂直投影到所述第一面而得到的区域重叠。

4.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，

所述第一肋的刚性比所述第二肋的刚性高。

5.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，

所述第一肋的与长度方向垂直的截面的截面积大于所述第二肋的与长度方向垂直的截面的截面积。

6.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，

构成所述第一肋的材料的杨氏模量大于构成所述第二肋的材料的杨氏模量。

7.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

所述多个粘着构件包括沿着所述板状构件的周缘部排列的第二粘着构件组。

8.根据权利要求7所述的基板载体，其特征在于，

在所述第一粘着构件组的排列方向上，在所述第一粘着构件组的两侧配置有所述第二粘着构件组中的两组，

将所述第二粘着构件组中的所述两组的所述粘着面垂直投影到所述第一面而得到的区域与将所述第一肋垂直投影到所述第一面而得到的区域重叠。

9.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

在与所述第一粘着构件组的排列方向交叉的方向上，所述第一肋配置于所述板状构件的中央。

10.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

所述第一肋拆装自如地配置于所述板状构件。

11.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

所述多个粘着构件拆装自如地配置于所述板状构件。

12.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

所述第一肋拆装自如地配置于所述板状构件，

所述多个粘着构件拆装自如地配置于所述板状构件。

13.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

所述基板载体是在使用设有用于划分所述基板的被成膜区域的交界部的掩模对所述基板进行成膜的成膜装置中为了保持并传送所述基板而使用的基板载体，

对应于所述掩模的所述交界部，配置所述多个粘着构件。

14.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，

所述第一肋沿着与所述基板载体的传送方向交叉的方向延伸。

15.一种成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置具备：

权利要求1～14中任一项所述的基板载体；

对于所述基板载体保持的所述基板的被成膜面经由掩模进行成膜用的成膜机构；及

传送所述基板载体的传送机构。