[发明专利]基板载体、成膜装置及成膜方法

说明书

本发明提供一种不使基板载体整体的重量大幅增大而能够在保持基板的状态下稳定地翻转、传送的基板载体。基板载体具备：具有保持基板的第一面及作为第一面的相反侧的面的第二面的板状构件；配置在第一面侧，分别具有用于保持基板的粘着面的多个粘着构件；以及配置在第二面侧的第一肋，多个粘着构件包括沿着第一面排成列状的第一粘着构件组，将第一粘着构件组的各自的粘着面垂直投影到第一面而得到的区域与将第一肋垂直投影到第一面而得到的区域重叠。

技术领域

本发明涉及基板载体、成膜装置及成膜方法。

背景技术

作为制造有机EL显示器的方法，已知有经由以规定的图案形成有开口的掩模在基板上成膜，由此形成规定的图案的膜的掩模成膜法。在掩模成膜法中，在将掩模与基板进行了位置对合之后，使掩模与基板紧贴进行成膜。

专利文献1记载了使基板保持于夹盘(也称为“基板载体”)，按照各夹盘传送基板的情况。由此，即使是挠曲大的大面积基板也能够进行传送。而且，专利文献1中记载了下述内容：使基板以其处理面朝向铅垂方向上方的状态保持于基板载体，然后，机械地保持基板载体的侧面并通过使其旋转180°而翻转，将基板的处理面改变成朝向铅垂方向下方。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2013-55093号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

近年来，为了有机EL显示器的大面积化、生产效率的提高而要求使用大尺寸的基板进行成膜。通常，在制造有机EL显示器时，多使用玻璃或树脂等薄板作为基板，如果基板的尺寸增大，则水平保持基板时的挠曲变大。

通过将基板保持于基板载体进行传送而能够减轻基板的挠曲。然而，在保持基板的基板载体也存在挠曲。如果将保持有基板的基板载体翻转，则基板载体的基板保持面相对于重力的方向反转，因此基板载体的挠曲的形状在翻转前后成为相反。这样，当基板载体的姿势变化时，基板与基板载体的接触面的形状发生变化，如果该变化量过大，则基板从基板载体剥离，基板可能会落下。

另一方面，如果尽可能地提高基板载体的刚性来使整体难以挠曲，则基板载体的重量显著增大，传送、翻转变得困难。

因此，本发明鉴于上述课题，其目的在于提供一种基板载体，其能够在不使基板载体整体的重量大幅增大的情况下，在保持有基板的状态下稳定地进行翻转、传送。

【用于解决课题的方案】

为了解决上述课题，本发明的基板载体的特征在于，

所述基板载体具备：

板状构件，所述板状构件具有保持基板的第一面及作为所述第一面的相反侧的面的第二面；

多个粘着构件，所述多个粘着构件配置在所述第一面侧，分别具有用于保持所述基板的粘着面；及

第一肋，所述第一肋配置在所述第二面侧，

所述多个粘着构件包括沿着所述第一面排成列状的第一粘着构件组，

将所述第一粘着构件组的各自的所述粘着面垂直投影到所述第一面而得到的区域与将所述第一肋垂直投影到所述第一面而得到的区域重叠。

【发明效果】

根据本发明，能够提供一种不使基板载体整体的重量大幅增大而能够在保持基板的状态下稳定地翻转的基板载体。

附图说明

图1是表示实施方式的基板载体的结构的示意图。

图2是表示实施方式的基板载体下表面的示意图。