[发明专利]一种显示基板及其制作方法、显示装置在审
| 申请号： | 202110219548.5 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN112992662A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 尹雄宣 | 申请（专利权）人： | 武汉京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;H01L21/84;H01L23/544;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 430040 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显示基板及其制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，用于在保证显示器件中功能图形的制作精度的同时，缩小功能图形的制作时间。所述显示基板的制作方法包括：在透光基底上制作遮光图形；在所述遮光图形背向所述透光基底的一侧制作功能层；在所述功能层背向所述透光基底的一侧制作光刻胶过渡图形；以所述遮光图形为掩膜，在所述透光基底背向所述光刻胶过渡图形的一侧，对所述光刻胶过渡图形进行背面曝光工艺；对经过背面曝光工艺的光刻胶过渡图形进行显影工艺，形成光刻胶目标图形；以所述光刻胶目标图形为掩膜对所述功能层进行构图，形成功能图形。本发明提供的制作方法用于制作显示基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
