[发明专利]光阑组件及具有其的扫描电子显微镜

摘要

本发明属于扫描电子显微镜技术领域，具体涉及一种光阑组件及具有其的扫描电子显微镜。光阑组件包括：固定轴，所述固定轴用于连接扫描电子显微镜的壳体；至少两个光阑板，至少两个所述光阑板均以可相对所述固定轴转动的方式设置在所述固定轴的一侧，每一所述光阑板上设有多个光阑孔。根据本发明的光阑组件，当位于可使电子束通过的位置的光阑板的光阑孔被污染时，将该光阑板转动到其他位置，将其他未被污染的光阑板转动到电子束对应的位置，无需将光阑组件取出扫描电子显微镜即可更换光阑板，因此，延长光阑组件取出扫描电子显微镜进行更换时间，避免每次更换光阑板需要停机的问题，保证扫描电子显微镜长时间正常使用。