[发明专利]光阑组件及具有其的扫描电子显微镜

说明书

本发明属于扫描电子显微镜技术领域，具体涉及一种光阑组件及具有其的扫描电子显微镜。光阑组件包括：固定轴，所述固定轴用于连接扫描电子显微镜的壳体；至少两个光阑板，至少两个所述光阑板均以可相对所述固定轴转动的方式设置在所述固定轴的一侧，每一所述光阑板上设有多个光阑孔。根据本发明的光阑组件，当位于可使电子束通过的位置的光阑板的光阑孔被污染时，将该光阑板转动到其他位置，将其他未被污染的光阑板转动到电子束对应的位置，无需将光阑组件取出扫描电子显微镜即可更换光阑板，因此，延长光阑组件取出扫描电子显微镜进行更换时间，避免每次更换光阑板需要停机的问题，保证扫描电子显微镜长时间正常使用。

技术领域

本申请属于扫描电子显微镜技术领域，具体涉及一种光阑组件及具有其扫描电子显微镜。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。

扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。目前，扫描电子显微镜被广泛运用在半导体检测领域，其通过从电子枪射出的一次电子束通过磁透镜聚焦在晶圆表面进行扫描以激发出二次电子，系统通过探测二次电子的强度来分辨晶圆上图形界限并测量出目标图形的大小。

光阑组件是扫描电子显微镜的重要部件，光阑组件主要用于控制电子束的大小，光阑组件随着使用时间的增加，其污染程度逐渐增加，因此光阑组件需要定期更换以保证电子束的大小。现有的光阑组件包括固定轴和与固定轴连接的一个光阑板，光阑板上设有多个光阑孔，通过移动光阑板的位置使不同的光阑孔对准光束，直至所有光阑孔均被污染，此时需要更换光阑组件。现有的光阑组件的更换周期为六个月，更换周期较短，且光阑组件更换时，需要长时间中断扫描电子显微镜的运转，从而影响扫描电子显微镜的正常使用。

发明内容

本发明第一方面提出了一种光阑组件，所述光阑组件包括：固定轴，所述固定轴用于连接扫描电子显微镜的壳体；

至少两个光阑板，至少两个所述光阑板均以可相对所述固定轴转动的方式设置在所述固定轴的一侧，每一所述光阑板上设有多个光阑孔。

根据本发明实施例的光阑组件，当位于可使电子束通过的位置的光阑板的光阑孔被污染时，将该光阑板转动到其他位置，将其他未被污染的光阑板转动到电子束对应的位置，无需将光阑组件取出扫描电子显微镜即可更换光阑板，因此，延长光阑组件取出扫描电子显微镜进行更换时间，避免每次更换光阑板需要停机的问题，保证扫描电子显微镜长时间正常使用。

本发明第二方面提出了一种扫描电子显微镜，其特征在于，所述扫描电子显微镜包括光阑组件，所述光阑组件为根据上述任一实施例所述的光阑组件。

根据本发明实施例的扫描电子显微镜，当位于可使电子束通过的位置的光阑板的光阑孔被污染时，将该光阑板转动到其他位置，将其他未被污染的光阑板转动到电子束对应的位置，无需将光阑组件取出扫描电子显微镜即可更换光阑板，因此，延长光阑组件取出扫描电子显微镜进行更换时间，避免每次更换光阑板需要停机的问题，保证扫描电子显微镜长时间正常使用。

附图说明

通过阅读下文具体实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出具体实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。其中：

图1为本发明的光阑组件的结构示意图；

图2为本发明的光阑组件的光阑板的第一位置示意图；

图3为本发明的光阑组件的光阑板的第二位置示意图。

附图标记：

100：光阑组件；

10：固定轴；

20：光阑板、21：光阑孔；