[发明专利]光阑组件及具有其的扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种光阑组件，其特征在于，所述光阑组件包括：

固定轴，所述固定轴用于连接扫描电子显微镜的壳体；

至少两个光阑板，至少两个所述光阑板均以可相对所述固定轴转动的方式设置在所述固定轴的一侧，每一所述光阑板上设有多个光阑孔。

2.根据权利要求1所述的光阑组件，其特征在于，所述光阑组件还包括连接轴，所述连接轴的一端以可相对所述固定轴转动的方式与所述固定轴的第一端连接，所述连接轴的另一端连接至少两个所述光阑板。

3.根据权利要求2所述的光阑组件，其特征在于，所述光阑组件还包括第一调节器，所述第一调节器以可相对所述固定轴转动的方式与所述固定轴的第二端连接，部分所述第一调节器穿设于所述固定轴并与所述连接轴连接。

4.根据权利要求3所述的光阑组件，其特征在于，所述第一调节器包括驱动件和与所述驱动件连接的转轴，所述转轴以可相对所述固定轴转动的方式穿设于所述固定轴，所述转轴与所述连接轴连接。

5.根据权利要求1所述的光阑组件，其特征在于，所述光阑组件还包括第二调节器，部分所述第二调节器穿设于所述固定轴，所述第二调节器用于控制所述光阑板沿所述固定轴的轴向移动。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的光阑组件，其特征在于，每一所述光阑板与所述连接轴的轴线的垂直距离均相等。

7.根据权利要求6所述的光阑组件，其特征在于，每一所述光阑板均与以所述连接轴的轴线为轴心线且以所述垂直距离为半径的圆柱相切。

8.根据权利要求7所述的光阑组件，其特征在于，至少两个所述光阑板围成的最大夹角α范围小于等于90度。

9.根据权利要求1至5任一项所述的光阑组件，其特征在于，每一所述光阑板上的多个所述光阑孔的直径均相同。

10.一种扫描电子显微镜，其特征在于，所述扫描电子显微镜包括光阑组件，所述光阑组件为根据权利要求1至9中任一项所述的光阑组件。