[发明专利]基板保持装置在审
| 申请号： | 202110189050.9 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN113279040A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 阿部贵宏;对马拓也;平尾智则 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D5/02;C25D7/12;C25D5/54;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;王海奇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够适当地保持基板的基板保持装置。上述基板具有：被电镀部，暴露于电镀液；以及边缘部亦即上述被电镀部的外侧区域。上述基板保持装置具备：把持模块，用于通过与基板的上述边缘部接触来把持基板；吸引模块，用于吸引并保持基板的上述被电镀部；以及凸部，设置于基板中的与上述被电镀部对应的位置，比上述吸引模块向被上述基板保持装置保持的基板突出。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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