[发明专利]一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110178432.1 | 申请日： | 2021-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN113023662A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种MEMS电容式触觉压力传感器，包括：衬底；绝缘层，设置在所述衬底上；电极，设置在所述绝缘层上；电介质层，设置在所述绝缘层上并覆盖所述电极；触觉敏感体，设置在所述电介质层上；其中，所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感器的可动电极。本发明所提出的MEMS电容式触觉压力传感器主要依赖电容电极间的面积变化来响应触觉压力的变化，相比于现有的通过电极间距变化来响应触觉压力变化的MEMS触觉压力传感器，具有高线性度、高灵敏度的优点。且可采用MEMS加工工艺进行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 触觉 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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