[发明专利]电容器电极、电容器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110168051.5 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN114864280A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 安胜璟;胡艳鹏;卢一泓 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | H01G4/005 | 分类号： | H01G4/005;H01G13/00 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容器电极、电容器及其制备方法，其中电容器电极包括：下电极；所述下电极包括多个阶段部，所述多个阶段部自下而上依次连接，所述多个阶段部的横截面尺寸自下而上逐个减小；其中，横截面尺寸最小的阶段部为所述下电极的一端。本发明能够提高电容器的存储容量。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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