[发明专利]用于将microLED组装到基底上的方法和系统在审
申请号: | 202110136931.4 | 申请日: | 2021-02-01 |
公开(公告)号: | CN113345878A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 王蕴达;吕正平;Q·王;S·雷乔杜利 | 申请(专利权)人: | 帕洛阿尔托研究中心公司 |
主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L25/00;H01L21/67 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张婧晨;张一舟 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开涉及用于将microLED组装到基底上的方法和系统。将microLED芯片从外延晶片转移到第一试样块基底。该第一试样块基底具有暂时保持microLED芯片的第一软粘合剂层。使用第一转移基底,将microLED芯片的子集从第一试样块基底转移到具有第二软粘合剂层的第二试样块基底。经由第二转移基底,将microLED芯片的图案从另一个基底转移到第二试样块基底,以填充microLED芯片的子集中的空位。转移基底可操作以保持和释放多个微对象。 | ||
搜索关键词: | 用于 microled 组装 基底 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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