[发明专利]半导体制程废气处理的控制方法及设备有效
| 申请号： | 202110097807.1 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112933861B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 宁腾飞;杨春水;章文军;张坤;陈彦岗;杨春涛;王继飞;席涛涛;何磊;闫潇 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D49/00;B01D47/06;B01D47/00;F28C3/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李文丽 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及泛半导体技术领域，提供一种半导体制程废气处理的控制方法及设备。半导体制程废气处理的控制方法，应用于半导体制程废气处理设备，废气处理设备包括依次连通的处理容器、第一冷却容器、水箱、第二冷却容器和排气管，所述控制方法包括：获取所述处理容器内气体的第一气体温度，以及所述水箱内气体的第二气体温度；获取所述第一气体温度与所述第二气体温度的第一温度差；根据所述第一温度差、所述第一气体温度和所述第二气体温度调节所述第一冷却容器的第一冷却液的流量。本发明提出的半导体制程废气处理的控制方法，可根据气体温度变化自动调节第一冷却液的流量，实现冷却效果的实时调控，提升废气处理设备的运行的自动化、智能化。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 废气 处理 控制 方法 设备 | ||
【主权项】：
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