[发明专利]一种成分梯度磁性金属-磁性氧化物颗粒薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110085952.8 申请日: 2021-01-21
公开(公告)号: CN112927881B 公开(公告)日: 2022-10-04
发明(设计)人: 杨丰帆;于名讯;胡国祥;潘士兵;孙向民;孙建生;徐勤涛;连军涛;刘景;桑晓明 申请(专利权)人: 山东非金属材料研究所
主分类号: H01F1/16 分类号: H01F1/16;H01F1/34;H01F41/14;H05K9/00
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 苗峻;赵斌
地址: 250031 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明属于电磁波防护材料技术领域,具体涉及一种成分梯度磁性金属‑磁性氧化物颗粒薄膜及其制备方法,该颗粒薄膜为垂直于衬底方向上由基层到面层磁性金属成分体积含量梯度连续减小的颗粒薄膜组成,磁性金属成分梯度变化范围为20%~99%;磁性金属为Fe、Co、Ni中的一种或其合金,可掺杂Si、B中的一种或两种混合物;磁性氧化物为CoFe2O4、ZnFe2O4、NiFe2O4、MnFe2O4、NiCo2O4、Co2O3、Fe3O4中的一种;制备方法采用磁控共溅射工艺。本发明成分梯度连续变化、制作工艺简单,制备的颗粒薄膜,满足阻抗匹配特性、电磁波衰减特性要求。
搜索关键词: 一种 成分 梯度 磁性 金属 氧化物 颗粒 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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