[发明专利]一种稳定型半导体制造设备

摘要

本发明涉及一种稳定型半导体制造设备，包括连接管和吸嘴，所述连接管竖向设置，所述吸嘴安装在连接管的底端，所述连接管内设有真空装置，所述连接管上设有稳定机构和清洁机构，所述稳定机构包括动力组件、稳定组件、转动轴、支撑板、两个轴承和两个连接杆，所述稳定组件包括移动板、电磁铁、挤压盘和至少三个传动单元，所述传动单元包括推杆、弹簧和导孔，所述清洁机构包括第一电机和至少三个清洁组件，所述清洁组件包括固定杆、滚珠、移动管、第一单向阀、通孔和至少两个第二单向阀，该稳定型半导体制造设备通过稳定机构提高了吸嘴吸附芯片移动的稳定性，不仅如此，还通过清洁机构实现了清洁吸嘴的功能。