[发明专利]光传感器设备及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202080095152.8 申请日: 2020-02-07
公开(公告)号: CN115039225A 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 勝野元成;工藤義治 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种可以减小暗电流并提高灵敏度的光传感器设备及其制备方法。所述光传感器设备包括:基板(1‑13);形成于所述基板(1‑13)上的锗或锗硅层,所述锗或锗硅层包括n型锗或锗硅层(1‑2)和p型锗或锗硅层(1‑3);由p型硅或硅锗层(1‑4)组成的导电层,所述导电层形成于所述锗或锗硅层的顶部和侧面。所述制备光传感器设备的方法包括:提供基板(1‑13);在所述基板(1‑13)上形成锗或锗硅层,所述锗或锗硅层包括n型锗或锗硅层(1‑2)和p型锗或锗硅层(1‑3);形成由p型硅或硅锗层(1‑4)组成的导电层,所述导电层形成于所述锗或锗硅层的顶部和侧面。
搜索关键词: 传感器 设备 及其 制备 方法
【主权项】:
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