[发明专利]感放射线性树脂组合物的制造方法在审
| 申请号： | 202080032434.3 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113767333A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 田中匠;江副博之;原田宪一 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其抑制所形成的图案的缺陷的产生，并且抑制了长期保管后的灵敏度的变动。感放射线性树脂组合物的制造方法具有：工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及工序2，在搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，在工序2中，搅拌槽内的气压比搅拌槽外的气压高，在工序2中，搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。 | ||
| 搜索关键词： | 放射 线性 树脂 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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