[发明专利]感放射线性树脂组合物的制造方法在审
| 申请号： | 202080032434.3 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN113767333A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 田中匠;江副博之;原田宪一 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放射 线性 树脂 组合 制造 方法 | ||
1.一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其具有：
工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及
工序2，在所述搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将所述通过酸的作用而极性增大的树脂、所述光产酸剂及所述溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，
在所述工序2中，所述搅拌槽内的气压比所述搅拌槽外的气压高，
在所述工序2中，所述搅拌槽内的气压与所述搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。
2.根据权利要求1所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，
所述气体中的所述非活性气体的浓度为95体积％以上。
3.根据权利要求1或2所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，
所述搅拌槽内的气压与所述搅拌槽外的气压之差为0.8kPa以下。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，
在所述工序1之前，将所述搅拌槽内的气体置换为所述非活性气体的浓度为90体积％以上的气体。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，
在所述工序1中，将所述搅拌槽内的气体置换为所述非活性气体的浓度为90体积％以上的气体。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，
在所述工序1与所述工序2之间，将所述搅拌槽内的气体置换为所述非活性气体的浓度为90体积％以上的气体。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，
所述感放射线性树脂组合物的固体成分浓度为10质量％以上。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，
所述通过酸的作用而极性增大的树脂具有源自羟基苯乙烯的重复单元。
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