[发明专利]感放射线性树脂组合物的制造方法

说明书

本发明提供一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其抑制所形成的图案的缺陷的产生，并且抑制了长期保管后的灵敏度的变动。感放射线性树脂组合物的制造方法具有：工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及工序2，在搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，在工序2中，搅拌槽内的气压比搅拌槽外的气压高，在工序2中，搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。

技术领域

本发明涉及一种感放射线性树脂组合物的制造方法。

背景技术

在IC(Integrated Circuit，集成电路)及LSI(Large Scale Integratedcircuit，大规模集成电路)等半导体器件的制造工艺中，通过使用感放射线性树脂组合物的光刻进行微细加工。

作为光刻方法，可列举由含有通过酸增加极性的树脂的感放射线性树脂组合物形成抗蚀剂膜后，对所获得的膜进行曝光，然后进行显影的方法。

如专利文献1所记载，通常，感放射线性树脂组合物通过混合各种成分来制造。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-011292号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

另一方面，在使用感放射线性树脂组合物形成图案(抗蚀剂图案)时，期望所形成的图案中缺陷少。另外，在本说明书中，缺陷是指在通过实施显影处理获得的图案中，有凹陷或、缺口，并且未成为规定大小的图案。

并且，由于感放射线性树脂组合物通常在保管规定期间后使用，因此期望即使在保管规定期间后使用时灵敏度的变动也小。

本发明人等参考专利文献1制造了感放射线性树脂组合物，并对其特性进行了研究，结果发现了在抑制上述图案的缺陷的产生及抑制长期保管后的灵敏度的变动这两个方面有进一步改进的余地。

本发明的课题在于提供一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其抑制所形成的图案的缺陷的产生，并且抑制了长期保管后的灵敏度的变动。

用于解决技术课题的手段

本发明人等发现了能够通过以下构成来解决上述课题。

(1)一种感放射线性树脂组合物的制造方法，其具有：

工序1，在搅拌槽中至少投入通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂；及

工序2，在搅拌槽内，在非活性气体的浓度为90体积％以上的气体下，将通过酸的作用而极性增大的树脂、光产酸剂及溶剂搅拌混合，从而制造感放射线性树脂组合物，

在工序2中，搅拌槽内的气压比搅拌槽外的气压高，

在工序2中，搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为2.0kPa以下。

(2)根据(1)所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，

气体中的非活性气体的浓度为95体积％以上。

(3)根据(1)或(2)所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，

搅拌槽内的气压与搅拌槽外的气压之差为0.8kPa以下。

(4)根据(1)至(3)中任一项所述的感放射线性树脂组合物的制造方法，其中，

在工序1之前，将搅拌槽内的气体置换为非活性气体的浓度为90体积％以上的气体。