[发明专利]金属研磨用胶态二氧化硅在审
| 申请号： | 202080030757.9 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN113727945A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 杉山大介;中野智阳 | 申请（专利权）人： | 扶桑化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/141 | 分类号： | C01B33/141;C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种能够实现高研磨速度的金属研磨用胶态二氧化硅。上述课题能够通过金属研磨用胶态二氧化硅来解决，该金属研磨用胶态二氧化硅含有：包含至少1个羧基的官能团通过共价键固定于表面所得到的二氧化硅颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 研磨 用胶态 二氧化硅 | ||
【主权项】：
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