[实用新型]一种机械臂和机器人有效
| 申请号： | 202023341492.0 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214560989U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 黄志平;黄德昇;杨志坚;亓文丽 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种机械臂和机器人，涉及集成电路技术领域，包括臂体和导向组件，在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在承载面的周侧设置有导向组件，可以在承载面的周侧设置有导向组件，如此，可以在晶圆放置发生一定的偏差时，通过导向组件的引导作用，使得晶圆能够顺利的位于承载面，即通过导向组件的导向作用吸收放置晶圆时的偏差，使得晶圆在具有放置偏差的情况下依然能够准确位于承载面，有效提高机械臂在移送晶圆的过程中晶圆放置的稳定性和可靠性。此外，导向组件在引导晶圆位于承载面后，还可以对位于承载面的晶圆提供限位作用，从而形成引导晶圆进入承载面后，能够较好的保持其所处位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 机器人 | ||
【主权项】：
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