[实用新型]一种机械臂和机器人

说明书

本实用新型提供一种机械臂和机器人，涉及集成电路技术领域，包括臂体和导向组件，在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在承载面的周侧设置有导向组件，可以在承载面的周侧设置有导向组件，如此，可以在晶圆放置发生一定的偏差时，通过导向组件的引导作用，使得晶圆能够顺利的位于承载面，即通过导向组件的导向作用吸收放置晶圆时的偏差，使得晶圆在具有放置偏差的情况下依然能够准确位于承载面，有效提高机械臂在移送晶圆的过程中晶圆放置的稳定性和可靠性。此外，导向组件在引导晶圆位于承载面后，还可以对位于承载面的晶圆提供限位作用，从而形成引导晶圆进入承载面后，能够较好的保持其所处位置。

技术领域

本实用新型涉及集成电路技术领域，具体而言，涉及一种机械臂和机器人。

背景技术

随着科技的快速发展，集成电路逐渐渗透各行各业，其在自动化、高效化和智能化方面起着不可或缺的角色。在集成电路领域中，通常需要机器人通过控制机械臂实现电子器件的加工和转移，因此，如何提高放置于机械臂上的电子器件的稳定性较为重要。

现有机械臂通常在放置有电子器件的面上设置有多个凸起，在多个凸起上放置电子器件，通过凸起和电子器件的接触形成止滑作用，但在实际制造中，往往由于电子器件在放置于机械臂上时存在一定的误差，故，导致电子器件位置偏移，在后续机械臂的转动过程中容易滑落。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种机械臂和机器人，以解决现有电子器件因放置误差使得位置偏移导致容易滑落的问题。

为实现上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案如下：

本实用新型实施例的一方面，提供一种机械臂，包括臂体和导向组件，在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在承载面的周侧设置有导向组件，导向组件用于引导晶圆位于承载面。

可选的，导向组件为转动组件，转动组件转动设置于臂体，以通过转动组件的转动引导晶圆位于承载面。

可选的，在臂体上开设有容置槽，承载面位于容置槽的底壁；转动组件包括导向轮以及转轴，导向轮通过转轴与臂体转动连接。

可选的，容置槽相对的两侧壁之间的间距沿槽底至槽口的方向逐渐增大，导向轮位于容置槽的侧壁。

可选的，转动组件包括作用件、限位件和位于承载面周侧的转动轮；转动轮转动设置于臂体，在转动轮的轮面上沿远离承载面的方向依次设置作用件和限位件。

可选的，在承载面上还设置有凹槽，凹槽与作用件对应设置，凹槽的形状与作用件的形状匹配，用于在晶圆位于承载面时，容置作用件。

可选的，转动组件为多个，多个转动组件沿承载面的周侧均布设置。

可选的，在承载面上还设置有信号传感器，信号传感器用于采集承载面上的晶圆信号。

可选的，在臂体上还设置有气体管路，气体管路的出口与承载面对应。

本实用新型实施例的另一方面，提供一种机器人，包括本体以及上述任一种的机械臂，本体与机械臂驱动连接。

本实用新型的有益效果包括：

本实用新型提供了一种机械臂和机器人，包括臂体和导向组件，在臂体上设置有用于承载晶圆的承载面，在承载面的周侧设置有导向组件，可以在承载面的周侧设置有导向组件，如此，可以在晶圆放置发生一定的偏差时，通过导向组件的引导作用，使得晶圆能够顺利的位于承载面，即通过导向组件的导向作用吸收放置晶圆时的偏差，使得晶圆在具有放置偏差的情况下依然能够准确位于承载面，有效提高机械臂在移送晶圆的过程中晶圆放置的稳定性和可靠性。此外，导向组件在引导晶圆位于承载面后，还可以对位于承载面的晶圆提供限位作用，从而形成引导晶圆进入承载面后，能够较好的保持其所处位置。

附图说明