[实用新型]硅片旋转输送装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片旋转输送装置，包括两侧设置有传输流水线的旋转机构，旋转机构包括驱动组件、旋转盘组件和太阳轮组件，驱动组件包括驱动源；旋转盘组件包括相连的一对转盘和吸附件，一对转盘轴连，其中一个转盘直连驱动源，转盘上设置有吸附件，吸附件包括同步轮组，多个同步轮组两两之间通过同步带相连；太阳轮组件包括太阳轮和固定轴，太阳轮设于固定轴上，太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的同步轮组。本实用新型在旋转盘组件的旋转过程中，吸附件一直保持水平状态，能够实现产品在两个流水线上的稳定精确传输，有利于大大提高工作效率。