[实用新型]硅片旋转输送装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片旋转输送装置，包括两侧设置有传输流水线的旋转机构，旋转机构包括驱动组件、旋转盘组件和太阳轮组件，驱动组件包括驱动源；旋转盘组件包括相连的一对转盘和吸附件，一对转盘轴连，其中一个转盘直连驱动源，转盘上设置有吸附件，吸附件包括同步轮组，多个同步轮组两两之间通过同步带相连；太阳轮组件包括太阳轮和固定轴，太阳轮设于固定轴上，太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的同步轮组。本实用新型在旋转盘组件的旋转过程中，吸附件一直保持水平状态，能够实现产品在两个流水线上的稳定精确传输，有利于大大提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及流水线输送技术领域，尤其涉及硅片旋转输送装置。

背景技术

流水线加工硅片时，硅片需要在多个工站进行流转，这其中会涉及到将一个流水线上的硅片转运至另一个流水线上。目前多采用人工转运的方式，即操作工人将一个流水线上的硅片转运至另一个流水线上，工作效率低，难以满足批量化的加工需求。

实用新型内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型提供一种硅片旋转输送装置，包括两侧设置有传输流水线的旋转机构，所述旋转机构包括：

驱动组件，所述驱动组件包括驱动源；

旋转盘组件，所述旋转盘组件包括相连的一对转盘和吸附件，一对转盘轴连，其中一个转盘直连所述驱动源，所述驱动源带动一对转盘同步转动，单个所述转盘上设置有用于吸附产品的多个吸附件，吸附件包括同步轮组，多个同步轮组两两之间通过同步带相连；

以及太阳轮组件，所述太阳轮组件包括太阳轮和固定轴，所述太阳轮设于固定轴上，所述太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的同步轮组，通过太阳轮与同步轮组之间的同步传动，以使该吸附件相对于驱动源向相反方向旋转相同角度，实现该吸附件保持水平状态，且同步轮组两两连接，实现多个吸附件均保持水平状态。

采用以上技术方案，所述旋转盘组件包括传动轴，其中一个转盘直连所述驱动源，另一个转盘通过传动轴连接该转盘。

采用以上技术方案，所述驱动组件包括机架和空心轴，每个转盘的中心侧面连接空心轴，空心轴穿过太阳轮连接机架，所述固定轴设于所述机架上。

采用以上技术方案，所述空心轴上设置有槽口。

采用以上技术方案，所述驱动源为DD直驱电机。

采用以上技术方案，单个所述吸附件包括旋转轴和吸嘴部，所述旋转轴穿过转盘，且旋转轴的一端设置有吸嘴部，所述旋转轴上设置有同步轮组。

采用以上技术方案，所述吸嘴部包括吸嘴座和吸嘴，所述吸嘴座上设置有吸嘴。

采用以上技术方案，同步轮组包括第一同步轮和第二同步轮，所述太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的第一同步轮，该吸附件的第二同步轮通过同步带连接相邻吸附件的第二同步轮，该吸附件的第一同步轮通过同步带连接相邻吸附件的第一同步轮，该吸附件的第二同步轮通过同步带连接相邻吸附件的第二同步轮。

采用以上技术方案，所述旋转盘组件包括张紧件，所述张紧件包括张紧轮和张紧轮座，相邻吸附件的同步轮之间的同步带连接张紧轮，所述张紧轮通过张紧轮座安装在转盘上。

本实用新型的有益效果：本实用新型旋转机构包括由驱动组件驱动旋转的旋转盘组件，旋转盘组件包括吸附件，还包括实现吸附件保持水平状态的太阳轮组件，采用吸附件将一个传输流水线上的产品取走，并由旋转盘组件旋转将硅片放置在另一个传输流水线上，同时在旋转盘组件的旋转过程中，吸附件一直保持水平状态，能够实现产品在两个流水线上的稳定精确传输，有利于大大提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的一结构示意图。

图2是图1上A部的局部放大示意图。

图3是本实用新型的另一结构示意图。