[实用新型]硅片旋转输送装置

权利要求书

1.一种硅片旋转输送装置，其特征在于：包括两侧设置有传输流水线的旋转机构，所述旋转机构包括：

驱动组件，所述驱动组件包括驱动源；

旋转盘组件，所述旋转盘组件包括相连的一对转盘和吸附件，一对转盘轴连，其中一个转盘直连所述驱动源，所述驱动源带动一对转盘同步转动，单个所述转盘上设置有用于吸附产品的多个吸附件，吸附件包括同步轮组，多个同步轮组两两之间通过同步带相连；

以及太阳轮组件，所述太阳轮组件包括太阳轮和固定轴，所述太阳轮设于固定轴上，所述太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的同步轮组，通过太阳轮与同步轮组之间的同步传动，以使该吸附件相对于驱动源向相反方向旋转相同角度，实现该吸附件保持水平状态，且同步轮组两两连接，实现多个吸附件均保持水平状态。

2.如权利要求1所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：所述旋转盘组件包括传动轴，其中一个转盘直连所述驱动源，另一个转盘通过传动轴连接该转盘。

3.如权利要求2所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：所述驱动组件包括机架和空心轴，每个转盘的中心侧面连接空心轴，空心轴穿过太阳轮连接机架，所述固定轴设于所述机架上。

4.如权利要求3所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：所述空心轴上设置有槽口。

5.如权利要求1所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：所述驱动源为DD直驱电机。

6.如权利要求1所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：单个所述吸附件包括旋转轴和吸嘴部，所述旋转轴穿过转盘，且旋转轴的一端设置有吸嘴部，所述旋转轴上设置有同步轮组。

7.如权利要求6所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：所述吸嘴部包括吸嘴座和吸嘴，所述吸嘴座上设置有吸嘴。

8.如权利要求6所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：同步轮组包括第一同步轮和第二同步轮，所述太阳轮通过同步带连接其中一个吸附件的第一同步轮，该吸附件的第二同步轮通过同步带连接相邻吸附件的第二同步轮，该吸附件的第一同步轮通过同步带连接相邻吸附件的第一同步轮，该吸附件的第二同步轮通过同步带连接相邻吸附件的第二同步轮。

9.如权利要求1所述的硅片旋转输送装置，其特征在于：所述旋转盘组件包括张紧件，所述张紧件包括张紧轮和张紧轮座，相邻吸附件的同步轮之间的同步带连接张紧轮，所述张紧轮通过张紧轮座安装在转盘上。