[实用新型]一种半导体KNS键合设备防尘罩有效
| 申请号： | 202023180554.4 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN214043610U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 俞智勇 | 申请（专利权）人： | 上海希太实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海首言专利代理事务所(普通合伙) 31360 | 代理人： | 刘宏博 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及防尘罩领域，具体是一种半导体KNS键合设备防尘罩，包括上门板、右侧板、左侧板、下门板、中门板和顶盖板，顶盖板前端左右对称的设置有门板右支撑和门板左支撑，顶盖板的前侧通过前框架铝条和长铰链安装有上门板，所述上门板的下端通过长铰链安装有中门板，所述中门板的下端通过长铰链安装有下门板，所述下门板的下端安装有下门板护条，所述右侧板通过右框架铝条安装在顶盖板的下侧右端，所述左侧板通过左侧板铝条安装在顶盖板的下侧左端。本装置的结构设置，可以满足各种不稳定环境，室内温度、空气湿度、产品长期与空气接触产生氧化、颗粒、等物质对焊接造成不良影响的保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 kns 设备 防尘 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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