[实用新型]一种长晶炉结构有效
| 申请号： | 202023015602.4 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN214244670U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 叶宏伦;钟健;钟其龙;刘崇志;张本义;姜政余 | 申请（专利权）人： | 璨隆科技发展有限公司;阿克苏爱矽卡半导体技术研发有限公司;新疆璨科半导体材料制造有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 罗恒兰 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种长晶炉结构，其包括壳体、加热器和坩埚本体，所述壳体上设有进气口和抽气口，所述壳体内形成有加热腔体；所述加热器和坩埚本体设于加热腔体内，所述加热器设于坩埚本体外周；所述坩埚本体内侧面形成有碳化铌膜层。本实用新型通过在石墨坩埚内形成碳化铌膜层，来减少石墨坩埚中的碳元素参与到晶体的生产过程，进而抑制生长源石墨化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长晶炉 结构 | ||
【主权项】：
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