[实用新型]一种金属舟及管式原子层沉积镀膜设备

摘要

本申请公开了一种金属舟及管式原子层沉积镀膜设备，所述金属舟包括框体，所述框体间隔设置有卡接件，所述卡接件包括相对设置的第一侧面和第二侧面；所述任意相邻的两个卡接件，所述一个卡接件的第一侧面与所述另一个卡接件的第二侧面形成卡槽；所述卡槽与硅片卡接配合，所述卡接件的第一侧面或第二侧面与所述硅片表面边缘形成气流通道。本申请通过卡接件的第一侧面或第二侧面与硅片被镀面边缘形成气流通道，减小了卡接件与硅片的接触面积，从而改善了硅片边缘的通风性。