[实用新型]一种适用于大尺寸硅片插片机的吸片翻转机构

摘要

本实用新型公开了一种适用于大尺寸硅片插片机的吸片翻转机构，包括固定轴、吸片滚筒、端盖、传动带轮，所述固定轴包括中间的安装部和两端的固定部，所述吸片套筒套装于固定轴的安装部上，所述吸片套筒两端分别设有端盖，所述端盖锁紧于吸片套筒端部，所述传动带轮设有用于避让所述固定轴固定部的中心孔，并锁紧于其中一个端盖的外端，所述吸片滚筒的两端为相互对称的正n边形，n≥4，所述正n边形的m个面上分别开设有吸附孔，所述m≤n，所述固定轴在与吸附孔相对应位置开设有吸附槽，所述吸附槽连接真空系统。本实用新型所涉及的吸片翻转机构更方便分离大硅片、薄硅片，降低硅片的崩边、碎片品质缺陷。