[实用新型]一种碳化硅加工用切片装置

摘要

本实用新型公开的一种碳化硅加工用切片装置，包括工作台，所述工作台上设置有可上下移动的切割机构，工作台上在对应所述切割机一侧的位置设置有可前后动的安装板，所述安装板上设置有用以固定碳化硅的夹块。本实用新型通过在工作台上设置一个可移动的安装板，并将碳化硅半导体夹持在安装板上，从而方便对碳化硅半导体进行位置调整，一次夹持定位之后，可以重复进行切片工作，给加工工作带来极大的便利且提高了加工效率，并且喷气头的设置可以有效将切割后产生的碎屑吹干净，从而保证半导体表面的平整，避免碎屑影响后续切片的精度。