[实用新型]一种匀流炉管及特气炉有效
| 申请号: | 202022769607.X | 申请日: | 2020-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN214612754U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 黄纪德;张昕宇;刘长明;金浩 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/455;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
| 地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型实施例涉及光伏设备技术领域,公开了一种匀流炉管及特气炉。本实用新型中,匀流炉管包括炉管内腔,所述炉管内腔包括第一端,所述第一端处设有用于向所述炉管内腔输入电子特气的进气口,其特征在于,所述第一端还设有第一旋转轴,所述第一旋转轴上设有若干可旋转的扇叶,所述进气口位于所述扇叶的迎风侧。通过在进气口处设置扇叶,使得电子特气在输入炉管内腔后,通过扇叶的旋转搅拌、导流,在进气口处就实现了均匀混合的目的,并送入炉管内腔,同时能够改变电子特气流速,在较短时间内就能使电子特气在炉管内腔内充分扩散均匀,且有助于电子特气均匀升温。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 炉管 特气炉 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





