[实用新型]一种匀流炉管及特气炉有效
| 申请号: | 202022769607.X | 申请日: | 2020-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN214612754U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 黄纪德;张昕宇;刘长明;金浩 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/50 | 分类号: | C23C16/50;C23C16/455;H01L31/18 |
| 代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
| 地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 炉管 特气炉 | ||
1.一种匀流炉管,包括炉管内腔,所述炉管内腔包括第一端,所述第一端处设有用于向所述炉管内腔输入电子特气的进气口,其特征在于,所述第一端还设有第一旋转轴,所述第一旋转轴上设有若干可旋转的扇叶,所述进气口位于所述扇叶的迎风侧。
2.根据权利要求1所述的匀流炉管,其特征在于,所述第一端处还设有用于封闭所述炉管内腔的炉门,所述第一旋转轴可转动的设于所述炉门上,所述扇叶固定于所述第一旋转轴上,所述第一旋转轴位于所述炉管内腔的中心轴上。
3.根据权利要求1所述的匀流炉管,其特征在于,所述炉管内腔还包括与所述第一端相对的第二端,所述第二端处与所述炉管内腔连通设有出气口,所述出气口具有不同开度;所述第二端设有第二旋转轴,所述第二旋转轴上设有若干可旋转的扇叶,所述出气口位于所述扇叶的出风侧。
4.根据权利要求1所述的匀流炉管,其特征在于,所述炉管内腔为圆柱形内腔,所述扇叶的长度小于所述炉管内腔的半径,且所述扇叶的端点与所述炉管内腔的内壁的间距为1~5cm。
5.根据权利要求3所述的匀流炉管,其特征在于,所述第一旋转轴和/或所述第二旋转轴还连接有电机,所述电机设于炉管内腔外部。
6.根据权利要求3所述的匀流炉管,其特征在于,所述第一旋转轴和/或所述第二旋转轴上固定有一个或多个扇圈,每个所述扇圈上固定有多个扇叶;其中,所述第一旋转轴和/或所述第二旋转轴上固定有多个扇圈时,相邻扇圈中的扇叶错开设置。
7.根据权利要求6所述的匀流炉管,其特征在于,所述扇圈上扇叶的数目为2~10片。
8.根据权利要求3所述的匀流炉管,其特征在于,所述第一旋转轴和/或所述第二旋转轴为可伸缩结构。
9.一种特气炉,其特征在于,包括如权利要求1至8任一所述的匀流炉管。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





