[实用新型]一种半导体研材料打磨用自动上下料机构有效
| 申请号: | 202022751111.X | 申请日: | 2020-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN213730958U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
| 发明(设计)人: | 王董豹;潘鲁滨 | 申请(专利权)人: | 上海宿龙半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/00;B24B41/02;B24B55/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 201303 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种半导体研材料打磨用自动上下料机构,包括上下料机,所述上下料机的上方均焊接有卡块,且卡块的内侧连接有第一定位杆,所述第一定位杆的外侧连接有液压缸,且液压缸的上方安装有第二定位杆,所述第二定位杆的外侧连接有支撑块,且支撑块的上方安装有延伸杆,所述延伸杆的内侧连接有卡栓,且卡栓的外侧连接有延伸套,所述延伸套的一端设置有第一转轴,且第一转轴的一侧设置有扩展机构,所述扩展机构的上方连接有第三定位杆,且第三定位杆的外侧连接有固定块。该半导体研材料打磨用自动上下料机构中,第四定位杆对软胶片起到螺纹固定作用,在使用装置时,第四定位杆的设置便于对装置零件进行拆卸更换,增加了装置的使用性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 材料 打磨 自动 上下 机构 | ||
【主权项】:
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